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186598-40-3CC(C)(C)N[Si]NC(C)(C)C186598-40-3Sicherheitsangaben dienen nur zur Orientierung und ersetzen weder das Sicherheitsdatenblatt (SDB) des Lieferanten noch geltende Vorschriften oder eine fachliche Bewertung.
VerwendenBis(t-butylamino)silane is a useful reagent, catalyst, and precursor. It is applicated in thin film deposition. Aminosilanes are the best choice as Si source for the deposition of hafnium silicates (HfSiO) and hafnium silicon oxynitrides (HfSiON).
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