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169896-41-7CC(C)(C)[N]=[Ta].CC[N-]CC.CC[N-]CC.CC[N-]CC169896-41-7Sicherheitsangaben dienen nur zur Orientierung und ersetzen weder das Sicherheitsdatenblatt (SDB) des Lieferanten noch geltende Vorschriften oder eine fachliche Bewertung.
VerwendenTantalum tris(diethylamido)-tert-butylimide is a useful precursor for the atomic layer deposition of tantalum oxide and tantalum nitride.
Keine Reaktionsaufzeichnungen unter den aktuellen Filterkriterien.
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