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Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

HCID 6101811
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Grundinformationen

CAS
19782-68-4
Standard-SMILES
C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.[Hf+4]
InChIKey
ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N
Summenformel
C8H24HfN4
Durchschnittliche Molmasse
354,79 g/mol

Namen und Bezeichner

Bevorzugter Name
Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)
Englischer Name
Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)
Summenformel
C8H24HfN4
Molmasse
354.79

Namen und Synonyme

TDMAHamido)hafnium(IV)TDMAH: Hf(N(CH3)2)40.2% Zr) TDMAH, PURATREMHafnium(4+) dimethylamideHafnium tetradimethylamideDimethylamine hafnium(4+) saltTetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)Tetrakis(dimethylamino)hafnium(TDMAHf)Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) TDMAH

Datenbank-Bezeichner

CAS
19782-68-4
PubChem CID
6101811

Eigenschaften

Physikochemische Eigenschaften

Schmelzpunkt
26 · 26-29 °C(lit.)
Siedepunkt
85 °C/0.1mm · 85°C/0.1mm
Dichte
1.098 g/mL · 1.098 g/mL at 25 °C
Flammpunkt
109 °F · 109 °F
Aggregatzustand
crystal
Farbe
colorless to pale yellow
Wichte
1.4 · 1.40
InChI
InChI=1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
InChIKey
ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N
SMILES
[Hf](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
CAS Datenbank
19782 · 19782-68-4

Sicherheit und Regulatorisches

Sicherheitsangaben dienen nur zur Orientierung und ersetzen weder das Sicherheitsdatenblatt (SDB) des Lieferanten noch geltende Vorschriften oder eine fachliche Bewertung.

Sicherheitsdaten

wgk
3
ridadr
UN 3396 4.3/PG 2
risk_code
11-14-34
hazard_code
F,C
safety_code
6-26-36/37/39-43-45
hazard_class
4.3, 4.1
Speicherklasse
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
Hazard Classifications
Flam. Sol. 1Skin Corr. 1BWater-react 2

Chemie und Industrie

Anwendungen

VerwendenUsed as precursor for atomic layer deposition of Hafnium Oxide nanolaminates, which are used as a reploacement for Silicon oxide in semiconductor devices.

Anbieter

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