一酸化ケイ素(一酸化珪素)

化学的特性Silicon monoxide (SiO) is another oxide of silicon, used rarely in silicon processing but quite often in thin film, hybrid Ie manufacture. It is useful there because no silicon is available for in situ growth of the dioxide, and it is deposited easily by physical vapor deposition, a process quite similar to the vacuum deposition of aluminum described. Usually the condensed oxide is nonstoichiometric, being a mixture of SiO, Si02, and Si; often, it is designated SiOx .The value of x, which ranges between 1 and 2, is influenced by the deposition conditions. The SiO source material is prepared by heating Si02 with Si, carbon, and hydrogen, or a hydrocarbon, to reduce the dioxide to the monoxide. Reduction takes place at roughly 1000°C, and SiO is formed in the vapor phase. This temperature is much too low to produce a significant vapor pressure of Si02, so the two oxides may be separated. The monoxide vapor is condensed out and subsequently powdered. This material, which is suitable for evaporation, is available commercially and need not be prepared by the IC manufacturer.

化学性质シリコン二酸化はシリコン原子と酸素原子が一定の比率で結合して形成される無機化合物です最も一般的な構造は一つのシリコン原子に対して二つの酸素原子が結びついた角状の構造を特徴としますこれによりシリコン二酸化は高い硬度と耐熱性を持ち合わせ多くの産業で利用されています

解説化学式SiO。一酸化ケイ素は，別名モノックスmonox。密度2.24g/cm3の不透明な黒色ガラス状粉末で，融点1700℃以上。二酸化ケイ素SiO2に炭素または炭化ケイ素を反応させてつくる。空気中では表面が酸化され二酸化ケイ素の被膜を形成するので，薬品等に侵されにくい。水に入れると反応して水素を発生する。フッ化水素酸，あるいはフッ化水素酸と硝酸の混合物に可溶。温アルカリ溶液には溶けて水素を発生し，ケイ酸を生ずる。酸素中では燃える。株式会社平凡社 世界大百科事典 第２版について 情報

用途ガラスにスパッターして表面鏡の作製、光学ガラスに薄膜としてつけて摩擦や表面変化の防止、電子顕微鏡用の支持膜などに用いる。ファインセラミックス、超電導材料用

使用Silicon monoxide (SiO) is a commonly used material for a wide variety of applications with the emphasis on IR multilayer coatings and adhesion promotion. SiO sublimes and should preferably be evaporated from resistance heated boats. AREAS OF APPLICATION Multilayer coatings especially for the IR, but also the VIS range Adhesion promoter (VIS, NIR) Electronics: dielectric, insulating and protective layers Design: iridescent coatings, colored metallically reflecting coatings e.g. on sun glasses Web coating: barrier layers on polymer films

使用用途一酸化ケイ素はリチウムイオン二次電池の負極材料として注目されています。一酸化ケイ素を負極材料として用いると、従来のケイ素系負極材料であるケイ素などと比べて放電時の体積膨張率が低く、高容量の電池として繰り返し利用可能です。 一酸化ケイ素をリチウムイオン二次電池の負極材料として利用するため、一酸化ケイ素を炭素と均一に混ぜる、一酸化ケイ素を炭素でコーティングするなどの研究が進められています。