Trimethylsilane (HCID 70435)

名称と識別子

優先名称: Trimethylsilane
IUPAC: trimethylsilane
現地名: トリメチルシラン
英語名: TRIMETHYLSILANE
分子式: C3H10Si
分子量: 74.2

名称と別名

(CH3)3SiH2-Methyl-2-silapropane993-07-7Silane, trimethyl-TrimethylsilaneTrimethysilanetrimethyl silane(trimethyl)silaneTMSHTrimethylsilyl hydrideC3H10SiSCHEMBL29016

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トリメチルシランtrimethyl-silantrimethylsiliconSILICON TRIMETHYLTrimethylsilane,97%Trimethylsilane 99.9%Trimethylsilane 99.99%

SCHEMBL217606SCHEMBL1242763SY068721NS00043056G77544Q1102218110477-51-5

データベース識別子

CAS: 993-07-7
PubChem CID: 70435
DTXSID: DTXSID60870822
EC Number: 213-603-0

物性

構造計算による物性

極性表面積: 0 Å²
水素結合供与体数: 0
水素結合受容体数: 0
回転可能結合数: 0
重原子数: 4
形式電荷: 0
複雑度: 8

実験および物理化学的性質

Physical Description · 2 件

Gas Vapor

Colorless compressed gas with a mild repulsive odor; [Linde Gas MSDS]

物理化学的性質

融点: -135 · -135,9°C
沸点: 6 · 6,7°C
比重(密度): 0 · 0,638 g/cm3
屈折率: 1.38 · 1.3800 (estimate)
闪点: -29 °C · <-29°C
外見: 液体
比重: 0.638 · 0.638
水溶解度: 1.4 g/L · 1.4g/L at 20℃
比熱容量: 1.59 J/ · Cp(gas): 1.59 J/(g·K), at 25℃
InChI: InChI=1S/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3
InChIKey: PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N
SMILES: [SiH](C)(C)C
LogP: 2.2 at · 2.2 at 20℃
CAS データベース: 993 · 993-07-7
EPAの化学物質情報: Silane, trimethyl- (993-07-7)

安全と法規制

GHS分類

GHS Classification · 5 件

Danger

H220 (82%): Extremely flammable gas [Danger Flammable gases]；H224 (18%): Extremely flammable liquid and vapor [Danger Flammable liquids]；H280 (99.5%): Contains gas under pressure; may explode if heated [Warning Gases under pressure]；H315 (18.9%): Causes skin irritation [Warning Skin corrosion/irritation]；H319 (18.9%): Causes serious eye irritation [Warning Serious eye damage/eye irritation]；H335 (18.9%): May cause respiratory irritation [Warning Specific target organ toxicity, single exposure; Respiratory tract irritation]

P203, P210, P222, P233, P240, P241, P242, P243, P261, P264, P264+P265, P271, P280, P302+P352, P303+P361+P353, P304+P340, P305+P351+P338, P319, P321, P332+P317, P337+P317, P362+P364, P370+P378, P377, P381, P403, P403+P233, P403+P235, P405, P410+P403, and P501 (click each P-code to see the statement)

Aggregated GHS information provided per 217 reports by companies from 8 notifications to the ECHA C&L Inventory. Each notification may be associated with multiple companies.；Information may vary between notifications depending on impurities, additives, and other factors. The percentage value in parenthesis indicates the notified classification ratio from companies that provide hazard codes. Only hazard codes with percentage values above 10% are shown. For more detailed information, please visit ECHA C&L website.

危険有害性情報

Regulatory Information · 2 件

Silane, trimethyl- is listed on the EPA's Chemical Data Reporting (CDR) system. Manufacturers and importers of Silane, trimethyl- are required to report information about their production and use of this chemical to the EPA under the Toxic Substances Control Act (TSCA). (40 eCFR Part 711)

Status: Active Update: 24-05-2022 https://echa.europa.eu/registration-dossier/-/registered-dossier/19701

Hazards SummaryReacts with water evolving methane; May form silicic acid on contact with tissue (irritant); Sudden release of compressed gas may cause frostbite; [Linde Gas MSDS] See Diethylsilane.

Hazard Classes and CategoriesFlam. Gas 1 (82%)；Flam. Liq. 1 (18%)；Press. Gas (Comp.) (99.5%)；Skin Irrit. 2 (18.9%)；Eye Irrit. 2 (18.9%)；STOT SE 3 (18.9%)

毒性情報

Toxicity DataLC50 (rat) > 5,000 ppm/1hr

法規制情報

Regulatory Information · 2 件

Silane, trimethyl- is listed on the EPA's Chemical Data Reporting (CDR) system. Manufacturers and importers of Silane, trimethyl- are required to report information about their production and use of this chemical to the EPA under the Toxic Substances Control Act (TSCA). (40 eCFR Part 711)

Status: Active Update: 24-05-2022 https://echa.europa.eu/registration-dossier/-/registered-dossier/19701

安全データ

tsca: TSCA listed
ridadr: 3161
hs_code: 2931900050
risk_code: 12-36/37/38
化審法: 新規公示化学物質（2011年3月31日以前届出）
safety_code: 9-16-26-33

化学と産業

用途と製造

U.S. Production2023: 75,000 - <500,000 lb；2022: 75,000 - <500,000 lb；2021: 75,000 - <500,000 lb；2020: 75,000 - <500,000 lb

Industry UsesIntermediate

General Manufacturing Information · 2 件

All Other Basic Inorganic Chemical Manufacturing；Electrical Equipment, Appliance, and Component Manufacturing

Silane, trimethyl-: ACTIVE

応用分野 · 2 件

用途トリメチルシラン (trimethylsilane) 引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる。

使用用途トリメチルシランの主な使用用途は、半導体製造における成膜の原料です。例えば、プラズマCVD法において、低誘電率層間絶縁膜形成の原料ガスとしてトリメチルシランが使われています。具体的には、SiC、SiOC、SiO2、SiN膜などの材料に用いられます。合成したトリメチルシランを半導体製造に用いるためには、精製により純度を高めることが不可欠です。代表的な不純物は、メチルシラン、ジメチルシラン、や、合成の過程で残存した未反応のクロロシランなどです。これらの不純物の除去のためには、蒸留操作・再結晶・再沈殿・昇華などを利用した一般的な精製方法が行われています。その他にも、活性炭を利用する方法や吸収溶液でガスを洗浄する方法なども開発されてきています。これらは、より高効率な精製方法を志向したものです。吸収溶液を用いる方法においては、不純物を含むトリメチルシランをpH2からpH4の吸収溶液に接触させ、洗浄します。