トリメチルシラン
Trimethylsilane
基本情報
- CAS
993-07-7- 標準SMILES
C[SiH](C)C- InChIKey
PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N- 分子式
- C3H10Si
- 平均分子量
- 74.2 g/mol
- 単同位体質量
- 74.05517685
名称と識別子
- 優先名称
- Trimethylsilane
- IUPAC
- trimethylsilane
- 現地名
- トリメチルシラン
- 英語名
- Trimethylsilane
- 分子式
- C3H10Si
- 分子量
- 74.2
名称と別名
(CH3)3SiH2-Methyl-2-silapropane993-07-7Silane, trimethyl-TrimethylsilaneTrimethysilanetrimethyl silane(trimethyl)silaneTMSHTrimethylsilyl hydrideC3H10SiSCHEMBL29016
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トリメチルシランtrimethyl-silantrimethylsiliconSILICON TRIMETHYLTrimethylsilane,97%Trimethylsilane 99.9%Trimethylsilane 99.99%
SCHEMBL217606SCHEMBL1242763SY068721NS00043056G77544Q1102218110477-51-5
データベース識別子
- CAS
993-07-7- PubChem CID
- 70435
- DTXSID
DTXSID60870822- EC Number
- 213-603-0
物性
構造計算による物性
- 極性表面積
- 0 Ų
- 水素結合供与体数
- 0
- 水素結合受容体数
- 0
- 回転可能結合数
- 0
- 重原子数
- 4
- 形式電荷
- 0
- 複雑度
- 8
実験および物理化学的性質
Chemical ClassesMetals -> Metalloid Compounds (Silicon)
SpringerMaterials Properties29Si nuclear magnetic resonance spectrum
Physical Description
Gas Vapor
Colorless compressed gas with a mild repulsive odor; [Linde Gas MSDS]
物理化学的性質
- 融点
- 135.9 °C · −135.9 °C (−212.6 °F; 137.2 K)
- 沸点
- 6.7 °C · 6.7 °C (44.1 °F; 279.8 K)
- 比重(密度)
- 0.638 g · 0.638 g cm−3
- 屈折率
- 1.38 · 1.3800 (estimate)
- 闪点
- -29 °C · <-29°C
- 外見
- gas
- 色
- Colorless
- 比重
- 0.638 · 0.638
- 水溶解度
- 1.4 g/L · 1.4g/L at 20℃
- 比熱容量
- 1.59 J/ · Cp(gas): 1.59 J/(g·K), at 25℃
- InChI
- InChI=1S/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3
- InChIKey
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N
- SMILES
- [SiH](C)(C)C
安全と法規制
安全情報は参考情報です。供給元の安全データシート（SDS）、適用法令、専門家による評価に代わるものではありません。
GHS分類
GHS Classification
Danger
H220 (82%): Extremely flammable gas [Danger Flammable gases]
P203, P210, P222, P233, P240, P241, P242, P243, P261, P264, P264+P265, P271, P280, P302+P352, P303+P361+P353, P304+P340, P305+P351+P338, P319, P321, P332+P317, P337+P317, P362+P364, P370+P378, P377, P381, P403, P403+P233, P403+P235, P405, P410+P403, and P501 (click each P-code to see the statement)
Aggregated GHS information provided per 217 reports by companies from 8 notifications to the ECHA C&L Inventory. Each notification may be associated with multiple companies.
危険有害性情報
Regulatory Information
Silane, trimethyl- is listed on the EPA's Chemical Data Reporting (CDR) system. Manufacturers and importers of Silane, trimethyl- are required to report information about their production and use of this chemical to the EPA under the Toxic Substances Control Act (TSCA). (40 eCFR Part 711)
REACH registered substance: Trimethylsilane (EC: 213-603-0)
Hazards SummaryReacts with water evolving methane; May form silicic acid on contact with tissue (irritant); Sudden release of compressed gas may cause frostbite; [Linde Gas MSDS] See Diethylsilane.
Hazard Classes and CategoriesFlam. Gas 1 (82%)
毒性情報
Toxicity DataLC50 (rat) > 5,000 ppm/1hr
安全データ
- tsca
- TSCA listed
- ridadr
- 3161
- hs_code
- 2931900090
- risk_code
化学と産業
用途と製造
U.S. Production2023: 75,000 - <500,000 lb
Industry UsesIntermediate
General Manufacturing Information
All Other Basic Inorganic Chemical Manufacturing
Silane, trimethyl-: ACTIVE
応用分野
用途トリメチルシラン (trimethylsilane) 引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる。
使用用途トリメチルシランの主な使用用途は、半導体製造における成膜の原料です。例えば、プラズマCVD法において、低誘電率層間絶縁膜形成の原料ガスとしてトリメチルシランが使われています。具体的には、SiC、SiOC、SiO2、SiN膜などの材料に用いられます。 合成したトリメチルシランを半導体製造に用いるためには、精製により純度を高めることが不可欠です。代表的な不純物は、メチルシラン、ジメチルシラン、や、合成の過程で残存した未反応のクロロシランなどです。これらの不純物の除去のためには、蒸留操作・再結晶・再沈殿・昇華などを利用した一般的な精製方法が行われています。 その他にも、活性炭を利用する方法や吸収溶液でガスを洗浄する方法なども開発されてきています。これらは、より高効率な精製方法を志向したものです。吸収溶液を用いる方法においては、不純物を含むトリメチルシランをpH2からpH4の吸収溶液に接触させ、洗浄します。
上流・下流製品情報
上流原料
下流製品
関連反応
78 件
化合物ノート
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