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이름 및 식별자
- 우선 이름
- Tris(dimethylamino)silane
- 영어명
- Tris(dimethylamino)silane
- 분자식
- C6H19N3Si
- 분자량
- 161.32
이름 및 동의어
3DMASTDMASDK087LS 1460amino)siL(Me2N)3SiH3DMAS : [(CH3)2N]3SiHTris(dimethyamino)silaneTri(dimethylamino)silaneTris(dimethylamido)silane
데이터베이스 식별자
- CAS
15112-89-7- PubChem CID
- 6335325
- Nikkaji
- J241.402C
물성
물리화학적 성질
- 녹는점
- 90 °C · −90 °C (lit.)
- 끓는 점
- 142 °C · 142 °C (lit.)
- 밀도
- 0.838 g/mL · 0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
- 굴절률
- 1.4247 · 1.4247
- 인화점
- -8.89 · -8.89 - 0.00 °C - closed cup
- 저장 조건
- 2 · 2-8°C, protect from light
- 산도 계수 (pKa)
- 10.93 · 10.93±0.70(Predicted)
- 물리적 상태
- liquid
- Specific Gravity
- 0.84 · 0.84
- 색상
- 무색~연황색
- InChI
- 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
- InChIKey
- TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N
- SMILES
- CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
- EPA
- N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)
안전 및 규제
안전 정보는 참고용이며, 공급업체의 물질안전보건자료(SDS), 관련 법규 및 전문가 평가를 대체하지 않습니다.
안전 데이터
- wgk
- 3
- tsca
- TSCA listed
- rtecs
- VV5800000
- ridadr
- 1993
- 독성
- rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.
- risk_code
- 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
- hazard_code
- F,C
- safety_code
- 16-26-36/37/39-45-43
- 기존화학 물질
- 2011-3-5049
- Hazard Classifications
- Acute Tox. 3 DermalAcute Tox. 3 InhalationAcute Tox. 4 OralEye Dam. 1Flam. Liq. 2Skin Corr. 1BWater-react 2
- 스토리지 클래스
- 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
화학 및 산업
응용 분야
용도Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.
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