규소화 탄탈럼(규소화 탄탈)
TANTALUM SILICIDE
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기본 정보
- CAS
12067-56-0- 표준 SMILES
[Si].[Si].[Si].[Ta].[Ta].[Ta].[Ta].[Ta]- 분자식
- Si3Ta5
- 평균 분자량
- 988.99 g/mol
이름 및 식별자
- 우선 이름
- TANTALUM SILICIDE
- 현지명
- 규소화 탄탈럼(규소화 탄탈)
- 영어명
- TANTALUM SILICIDE
- 분자식
- Si3Ta5
- 분자량
- 988.99
이름 및 동의어
규소화탄탈럼(규소화탄탈)규화탄탈규소화탄탈럼(규소화탄탈)(TANTALUMSILICIDE)silicon,tantalumEinecs 235-081-3TANTALUM SILICIDEpentatantalum trisilicideNickel Chromium (Ni-Cr) Alloy Sputtering TargetsTantalumsilicide,99.5%(metalsbasisexcludingNb),Nb0.1-1%TANTALUM SILICIDE, 99.5% (METALS BASIS EXCLUDING NB), NB 0.1
데이터베이스 식별자
- CAS
12067-56-0- PubChem CID
- 6336981
- EC Number
- 235-081-3
물성
물리화학적 성질
- 녹는점
- 2499 ℃ · 2499 ℃
- 밀도
- 13 · 13,060 (ρ/kg.m–3)
- 안정성
- 400 °C · The compound is thermally stable in air up to 400°C
- EPA
- Tantalum silicide (Ta5Si3) (12067-56-0)
화학적 성질
-325 mesh powder(s); used as a 99.5 or 99.95% material as a sputtering target in the fabrication of integrated circuits [ALF93] [CER91]
안전 및 규제
안전 정보는 참고용이며, 공급업체의 물질안전보건자료(SDS), 관련 법규 및 전문가 평가를 대체하지 않습니다.
안전 데이터
- tsca
- TSCA listed
- 기존화학 물질
- KE-33026
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